罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的真空。为了提高泵的真空度，可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有的间隙，可以实现高转速运行。

罗茨泵特点

在较宽的压强范围内有较大的抽速；

起动快，能立即工作；

对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；

转子不必润滑，泵腔内无油；

振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；

驱动功率小，机械摩擦损失小；

结构紧凑，占地面积小；

运转维护费用低。

因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门广泛的应用。